TLM测试及数据处理
原理
测试步骤
1、利用四探针测量不同间距(L12、L23、……、L45)相邻金属焊点的电阻(R12、R23、……、R45)
2、以L(um)为横坐标、R(Ω)为纵坐标画线,对其进行线性拟合,其纵坐标截距为2Rc,斜率为Rsh/W。由此得出Rc
3、测量焊点1-3之间电阻R13,可得Re13=(R12+R23-R13)/2,也可测焊点2-4之间电阻R24,可得Re24=(R23+R34-R24)/2,也可测焊点3-5之间电阻R35,可得Re35=(R34+R45-R35)/2,并对Re13、Re24、Re35求平均值得到Re
计算步骤
(W、S单位均为um)
1、特征接触电阻
2、传输